中国电科高端半导体装备发展提速
发布日期:2024-01-19 信息来源:中国电科
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新年伊始,中国电科自主研发的sic外延炉、激光封焊设备、hp-6100自动划片机等高端半导体装备开启密集“发货模式”,中国电科以实干创新引领保障高质量发展。
自主研发的40台sic外延炉成功进驻客户现场,技术团队正加快做好安装、调试工作,确保设备交付验收。sic是制作高温、高频、大功率电子器件的理想材料,在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域应用需求日益增加。外延设备作为第三代半导体sic器件制造核心装备之一,研制难度极大,在整个产业链中起着承上启下的重要作用。目前,sic外延炉已成功出货百余台,稳定的设备性能持续收获多个市场订单和客户好评。
顺利发往客户现场的激光封焊设备是今年首台、累计第五十台设备发货,深受用户好评。激光封焊设备是微波组件制造的关键装备,主要用于组件的气密性封装,可保护内部裸芯片及电路免受外部环境影响,保障组件性能的长期可靠性和稳定性。设备在国内市场占有率常年稳居领先地位,有力保障了微组装领域的创新发展。
自主研发的数十台hp-6100自动划片机批量发往客户现场。划片机是半导体封装环节的重要设备,hp-6100自动划片机广泛用于多种材料切割,尤其擅长多片切割,适用于陶瓷基材类、玻璃、封装体类、硅晶圆类、分立器件的划切工艺,是划切产品中历经多年打磨深耕的“明星机型”。科研团队正加快推进技术攻关和更新迭代,为实现高水平科技自立自强贡献力量。